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Hakuto 全自动离子蚀刻机 MEL3100

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具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称伯东企业(上海)有限公司
  • 品       牌
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  • 所  在  地
  • 厂商性质代理商
  • 更新时间2021/10/6 18:52:02
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伯东公司成立于1953 年,范围内有一千七百名员工。伯东企业(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要从事半导体设备、电子零部件加工、销售及相关服务工作,集团年营业额约为100亿人民币。伯东公司在国内主要城市:北京、苏州、广州、深圳、成都及厦门设有营业据点。
上海伯东真空产品事业部秉承为广大中国客户提供世界水平的真空产品、推动中国真空工艺发展、承担企业社会责任为经营理念,已累计为超过10,000家企业提供真空服务,覆盖工业、半导体、镀膜、科研和分析行业。

上海伯东代理品牌包含:德国Pfeiffer 全系列真空产品、美国 KRI 离子源、美国Brooks Polycold 制冷机,美国HVA 真空阀门,美国 inTEST(Temptronic)高速温度循环测试机,离子蚀刻机,真空镀膜系统及配套真空零配件等。

上海伯东作为真空品牌**代理商,全权负责在中国地区的销售和维修服务,* 使用原厂进口零部件以及国外受训维修工程师;拥有*的拆解,维修,校正能力并提供24小时在线服务。

高低温冲击试验箱,分子泵,原子力显微镜,包装胶盒
Hakuto 全自动离子蚀刻机 MEL3100 具有良好的均匀性和高蚀刻率, 刻蚀均匀度: 5%, 硅片 Si 蚀刻速率 10 nm/min, 具有高冷却效果.所有流程全自动减少人工操作, 从而保证了产品的无差错、高稳定性和高质量.占用空间小, 容易维护和用户操作友好.
Hakuto 全自动离子蚀刻机 MEL3100 产品信息

Hakuto 全自动离子蚀刻机 MEL3100 产品优势:

1. 所有流程全自动减少人工操作, 从而保证了产品的无差错、高稳定性和高质量

2. 盒式房间采用高效微粒过滤器

3. 采用高质量的蚀刻考夫曼离子源, 保证良好的均匀性和高蚀刻率

4. 占用空间小

5. 传输系统采用了 SCARA 型机器人

6. 控制单元系统提供操作通过触摸屏/ 10.4英寸, 数据记录可以显示在屏幕上

7. 高冷却效果

8. 良好的重复性和再现性的旋转和倾斜阶段具有良好的可重复性利用脉冲电动机

9. 容易维护这个系统设计重点是容易维护和用户友好

10. 关键部件服务伯东的经销商是系统中的关键部件涡轮泵系统、离子源提供客户快速响应时间和本地服务能力,减少停机时间的工具

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