兆声波清洗机-CSE

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华林科纳半导体设备技术有限公司成立于2008年3月，投资4500万元。主要从事半导体设备、液晶湿制程设备、太阳能光伏设备、蓝宝石加工设备的研发、技术推广和生产销售。

公司一直秉承“以质量为生存，以创新求发展”的经营理念，不坚持比客户对自己的需求了解更多，以优质的产品和优良的服务赢得了各界用户的赞许和信赖。

华林科纳公司通过与上公司的广泛合作，目前已形成湿法清洗系统、刻蚀系统、CDS系统、尾气处理系统的四大系列数十种型号的产品，广泛应用与大规模集成电路、电力电子器件、分立器件、MEMS和太阳能电池等领域。

主要设备有：配液机 IPA干燥机化学品恒温机、化学试剂分装机、湿法清洗系统、刻蚀系统、CDS系统、尾气处理系统

配液机，IPA干燥机，化学品恒温机，化学试剂分装机，湿法清洗系统、刻蚀系统、CDS系统、尾气处理系统

兆声波清洗机—华林科纳 Megasoniccleaningmachine南通华林科纳-兆声波清洗机适用于硅晶片蓝宝石晶片砷化镓晶片磷化铟晶片碳化硅晶片石英晶片可处理晶片尺寸2'-8'

兆声波清洗机-CSE 产品信息

兆声波清洗机—华林科纳

Mega sonic cleaning machine

南通华林科纳-兆声波清洗机适用于硅晶片蓝宝石晶片砷化镓晶片磷化铟晶片碳化硅晶片石英晶片

可处理晶片尺寸2'-8'；

可处理晶圆材料：硅砷化镓磷化铟氮化镓碳化硅铌酸锂钽酸锂等；

主要应用领域：半导体太阳能光伏液晶等

产品简介
1	设备机架采用不锈钢骨架外包PP板，耐酸碱腐蚀；
2	电气区设置在设备后上部，与湿区和管路区隔离；
3	槽体材料选用耐相应溶液腐蚀的材料；
4	机械手探入湿区部分的零部件表面喷氟或套PFA管处理；
5	设备排风采用顶部百级FFU送新风，台面下抽风，每套工艺清洗槽都有自动开闭的槽盖，槽盖下有单独的抽风装置，排风口处设有自动调节风门，即上电打开风门，断电关闭风门，具有风压检测功能，以及氮气、压缩空气压力报警功能；
6	溶液槽中药液自动供液按设定好比例混合，并可在工作过程中根据设定补液；客户根据自身工艺条件自行设定；
7	台面为多孔结构，便于台面上冲洗水、液的排出；
8	操作面设有透明PVC安全门；
9	设备设有漏电、急停、液位、过温、安全门开、漏液、超时等保护和报警装置，保证设备的安全可靠；
10	配备有进口PFA，水、各一。