- 晶圆尺寸:直径:4",5",6",8",厚度:150~750um。
- 晶圆种类:硅片\砷化镓\其它。
- 膜的种类:单层膜(Blue Tape )长度:100m,宽度:210~300mm,厚度:0.05~0.2mm。
- 晶圆框架:6"DISCO标准环或者8"DISCO标准环(或客户制定标准)。
- 贴膜原理:防静电滚轮贴膜,采用导轨式平移滚轮,操作平稳轻便。
- 晶圆台盘:通用特氟龙防静电涂层接触式台盘,自动控温,根据晶片的加热要求设定工作台温度,zui高达70℃。
- 装卸方式:晶圆\框架手动放置和取出
- 防静电控制:特氟龙防静电涂层接触式台盘\防静电滚轮,防静电离子风棒(需选配)
- 切割系统:手动可调整环形切刀和直切刀
- 晶圆定位:通用标线
- 电源电压:单项交流电220V 10A
- 压缩空气:0.5Mpa干燥压缩空气