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Lumetrics品牌OptiGauge系列厚度测量系统采用了短相干光源的迈克尔逊干涉仪原理。特点：1.非接触式、非破坏性；2.实时在线测量或离线测量；3.可单次测量多层膜，可测20层；4.探针灵活配置，实现多个不同目标测量（最
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