技术参数
定制信息
二维精密转台可选项:在Gimbal Stage 产品序列里,配置了可根据用户实际应用选择的可选项。可选内容包括中空孔径、编码器等选项。
中空孔径选项
-100 100mm 行程位移平台,配置直线电机和限位
-150 150mm 行程位移平台,配置直线电机和限位
-200 200mm 行程位移平台,配置直线电机和限位
编码器选项
-E1 增量式模拟光学式线性编码器,1Vpp
-E2 增量式数字光学式线性编码器,RS422
-E3 式光学式线性编码器,BISS