| 类别 | 描述 |
| 双Z 轴多轴微动台（Z3T-Dz Stage） | 平台特性
平台概要 双Z 轴多轴微动台拥有4 个自由度，提供364°的旋转角，双Z 轴，其中一个用于圆晶装件与卸件的粗大调整，一个用于调焦的精密调整，以及±0.2°以上的tip 和tilt 修正。该Z3T-Dz 模块为运动提供更优的跟随误差控制性能，其重复精度、运动和稳定时间性能均支持更大行程运动。Z3T-Dz 模块主要用于前道应用，优先于光刻后段和圆晶生产控制。 |
| 单Z 轴多轴微动台（Z3T-Sz Stage） | 平台特性
平台概要 单Z 轴多轴微动台拥有四个各自独立的自由度，包括一个旋转轴、一个垂直轴和两个摇摆和倾斜修正轴。该Z3T-Sz 模块结构极为紧凑，且具备优异的定位精度和动态特性，满足半导体晶圆制造和检测过程中对晶圆载台运动性能的特殊需求。Z3T-Sz 的出现不仅为用户提高运动系统精度，简化设计难度，还能显著提升设备的可靠性和集成度，降低设备的复杂性和总体成本，提高性价比。 |
上海频标科技有限公司是一家专业的实验室仪器设备及试剂耗材类产品的综合服务提供商，集研发、集成、销售、测试服务、方案咨询及品牌代理于一体。公司业务主要涵盖实验室各类测试测量及分析设备、试剂及耗材、成像及光谱、半导体微电子复杂系统及环境控制等多个领域。我司下设光电事业部、生命科学事业部、光谱事业部、半导体微电子事业部四大事业部，广泛服务于各大科研院所、企业研发中心、半导体微电子、生命科学等领域中的众多客户，并长期以来秉承“请将问题交给我们，时间留给科研!”的企业理念，诚信、高效、专业地努力为客户提供服务。
上海频标科技有限公司由来自于东京大学、中科院研究所、吉林大学及复旦大学等多位业内仪器仪表及解决方案领域的教授、博士、硕士等专业团队构成，公司致力于打造实验室综合解决方案和服务提供商。我们崇尚专注、专业、专长，以努力为各类客户提供专家型一站式服务为宗旨。
仪器仪表，实验室耗材，光电，生命科学，半导体微电子，光谱
多轴微动台（MZ3T Stage） 产品信息
采购中心
