| 类别 | 描述 |
| 扁平ZT 台（MZT-10 Stage） | 平台特性
平台概要 扁平ZT 台采用旋转运动平台和创新性垂向运动在轴向进行耦合的设计思想，具有极为紧凑扁平的轮廓尺寸。能实现Rz/Z 轴2 自由度的高精度、高刚度运动无限制旋转，和MZT-25 Stage 相比，成本更低。可广泛应用于晶圆生产控制应用，例如薄膜计量、关键尺寸检查等。 |
| 大行程ZT 台（MZT-25 Stage） | 平台特性
平台概要 大行程ZT 台采用旋转运动平台和垂向运动创新性的在轴向进行耦合的设计思想，具有紧凑扁平的轮廓尺寸。能实现Rz/Z 轴2 自由度的高精度、高刚度运动无限制旋转。和MZT-10 Stage 相比，垂向刚度更高，负载和抗偏心能力更大。可广泛应用于晶圆生产控制应用，例如薄膜计量、关键尺寸检查等。 |
| 高性能ZT 台（MZT-24-CRG Stage） | 平台特性
平台概要 高性能ZT 台采用旋转运动平台和垂向运动创新性的在轴向进行耦合的设计思想，具有紧凑扁平的轮廓尺寸。能实现Rz/Z 轴2 自由度的高精度、高刚度运动无限制旋转。和MZT-24 Stage 相比，垂向性能更高。可广泛应用于晶圆生产控制应用，例如薄膜计量、关键尺寸检查等。 |
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磁悬浮垂向与旋转台 产品信息
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